二手 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P #293745284 待售

PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380P是用於半導體制造和研究實驗室的精密、均勻、高通量蝕刻和灰化工藝的最先進的蝕刻/灰化設備。該系統結合了先進的技術、創新的設計和堅固的結構,以緊湊的空間提供卓越的性能和可靠性。它旨在滿足半導體工業的苛刻要求，包括生產先進的微電子器件和集成電路。TECHNICS Gigabatch 380P具有多用途的加工室,可同時對多個基板進行批處理。此功能可提高生產效率和效率,同時確保所有基材的工藝結果一致。該機組配備了一系列工藝氣體、真空泵、溫度控制系統和等離子體源，以適應各種蝕刻和灰化過程，如介電蝕刻、抗剝離、表面清潔、薄膜沈積等。該機器在工藝配方開發和優化方面提供了靈活性，允許用戶定制工藝參數以獲得所需的蝕刻或灰化結果。PVA TEPLA Gigabatch 380P的關鍵特征之一是其先進的等離子體技術，它在工藝室內產生高密度的等離子體，以實現快速、均勻、選擇性的材料去除。該工具利用電感耦合等離子體（ICP）和電容耦合等離子體（CCP）源的組合來提高過程控制和效率。ICP源產生具有高離子能量的高密度等離子體用於深度蝕刻應用，而CCP源產生均勻的等離子體用於表面清潔和薄膜去除過程。雙等離子體源能夠精確控制蝕刻或灰分速率、選擇性和側壁輪廓,從而實現卓越的工藝重復性和均勻性。Gigabatch 380P還配備了高級流程監控功能，以確保最佳流程性能和可重復性。資產包括實時流程監控傳感器、質量流量控制器、壓力傳感器和溫度傳感器，用於精確測量和控制流程參數。集成自動化軟件允許用戶定義和執行復雜的流程配方，實時監控流程參數，分析流程數據以進行質量控制和流程優化。該型號還提供了先進的安全功能，如互鎖、排氣洗滌器和緊急停止按鈕，以確保安全運行，保護設備和操作員免受潛在危害。除了先進的功能和技術外,PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380P還設計用於易於使用、維護和可維護性。該設備具有用戶友好界面,具有直觀的控件、圖形顯示和遠程監控功能,可有效地進行操作和故障排除。該系統的模塊化設計允許方便地訪問關鍵部件，例如等離子體源、工藝室、氣體輸送單元和真空泵，從而實現快速維護和部件更換。該機還為可擴展性和可升級性而設計，允許用戶通過額外的工藝室、氣體管線和自動化功能定制和擴展工具，以滿足不斷變化的工藝需求和生產需求。總體而言,TECHNICS Gigabatch 380P蝕刻器/灰度資產為各種半導體蝕刻和灰度應用提供了先進的等離子體技術、精確的工藝控制、高生產率和可靠性。它是尋求實現高質量、高性能半導體器件和材料的半導體制造商、研究機構和大學的通用、經濟高效的解決方案。