二手 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P #293798850 待售
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PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P是專門為各種蝕刻和灰化應用而設計的蝕刻器/灰化器。TECHNICS GIGAbatch 380P具有潛在的靜止外部接觸,使其能夠在抗蝕刻和等離子體灰化應用中控制低電平電流。該設備的占地面積很小,非常適合在狹窄的空間中使用。此外,PVA TEPLA GIGAbatch 380P具有過程和操作監控功能,可根據需要進行系統優化。GIGAbatch 380P提供精確的處理參數同步,從而實現準確可靠的蝕刻和灰化過程。此外,蝕刻器/灰化器配備了優化的前體和氣體分布,使得該裝置高效。此外,PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P的設計既能產生高蝕刻率,又能產生低排泄率。蝕刻器/灰化器裝有惰性腔室和精確的溫度和壓力控制。這樣可以確保設備和用戶的處理準確性和安全性。腔室由特氟龍制成,既耐用又易於清潔。此外,TECHNICS GIGAbatch 380P能夠對金屬、多晶矽和外延矽等多種材料進行蝕刻、灰化、防反射塗層和背蝕,使其成為一種通用設備。PVA TEPLA GIGAbatch 380P具有內置的控制器,同時具有模擬和數字輸入功能,使設備極其用戶友好。液晶觸摸屏還可以方便地操作和監控過程。此外,該設備還具有智能監控系統,可向用戶發出有關潛在流程錯誤的警報。總體而言,GIGAbatch 380P是各種應用的理想蝕刻器/asher;PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch具有優化的前體和氣體分布、溫度和壓力控制以及LCD觸摸屏等特點,使PVA TEPLA/TECHNICS 380P一種高效可靠的設備。
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