二手 PVA TEPLA / TECHNICS PlanarEtch II 750 #145818 待售

PVA TEPLA/TECHNICS PlanarEtch II 750是一款專門為滿足先進光刻和微加工應用需求而設計的蝕刻器/asher。此蝕刻器/asher具有高精度處理能力,可靠、經濟高效且易於操作。該設備配備了直視高分辨率彩色液晶屏幕和直觀的計算機界面,可輕松完成程序加載以及通過系統菜單的簡單導航。TECHNICS PlanarEtch II 750裝有直流等離子體源，產生極穩定和可重復的過程，選擇性和均勻性的最佳組合。該機組配備了創新的氣控機器，用於精密氣流監測和控制，以滿足最苛刻的加工要求。氣體流量、蝕刻速率、偏差設置等工藝參數可針對不同的應用進行調整。該工具能夠處理尺寸不超過8.5 「x 8.5」的基板。基板位於30度角鋁板上，采用非侵入式夾緊機構固定到位，確保最高精度和均勻性。該資產還有一個腔室壓力控制模型，當設備在真空或壓力下使用時保持最佳蝕刻條件。PVA TEPLA PlanarEtch II 750是一個高度可靠的系統,設計用於最大正常運行時間。該單元包括一個具有自動任務超時保護和防止過溫關機的子系統監控機，以及電源互鎖和門互鎖。該工具還配備了一個強大的自動診斷程序,用於監控流程和資產健康狀況的總體狀況。PlanarEtch II 750是一站式蝕刻解決方案。它與感應耦合等離子體、反應性離子蝕刻、接觸蝕刻和n井蝕刻工藝兼容。這種通用的模型可以取代幾種傳統的溶液處理技術，從而為先進的光刻和微加工提供高質量、可重復和可靠的工藝。