二手 PVT RIE-212IPC #9387000 待售

PVT RIE-212IPC是一種專門為半導體工業設計的蝕刻器和asher設備。RIE-212IPC是一個高質量、先進的蝕刻和灰化系統，可以處理各種樣品，包括晶圓、翻轉芯片和3D結構。該設備具有RIE源、反作用室和多區卡盤單元。PVT RIE-212IPC上的RIE光源設計用於以受控方式蝕刻微型結構。它具有先進的控制系統，能夠對各種蝕刻參數進行復雜的操作，如選擇性、生產率和均勻性。RIE源還提供可變功率能力和電容器負載補償，確保蝕刻過程精確可靠。RIE-212IPC上的反應室是一種高性能裝置，其設計目的是確保一致的蝕刻和灰化操作。它的特點是采用集成冷卻技術，以確保過程以最小的熱負荷和高度控制的氣流進行，從而有助於防止汙染。PVT RIE-212IPC上的多區卡盤機設計用於在蝕刻和灰化操作過程中保存和處理樣品。它具有碳條工藝，使樣品處理不會殘留在卡盤上，以及整個工藝的可變性。它還具有內置的流程監視器,以確保始終保持最佳流程參數。總體而言，RIE-212IPC是一個先進的蝕刻和灰化工具，其設計提供了高度的精度和可靠性。利用RIE源、反應室和多區卡盤資產，這種蝕刻和灰化器模型能夠處理廣泛的樣品並提供一致的結果。