二手 QUATERNARY JSPCS-750 #9395897 待售

QUATERNARY JSPCS-750是一種在半導體工業中使用的蝕刻器/asher。它具有可調的光學參數，可在各種應用中發揮最大效用。JSPCS-750是一種全自動設備，包括多個溫度傳感器，用於精確的溫度控制。該蝕刻器具有智能電子束模式發生器、先進的光學成像系統和Vacu-Vario真空裝置，支持非常小的熱敏材料的清潔應用。QUATERNARY JSPCS-750采用大容量儲罐和多噴射設計,可確保對所有半導體基材材料進行完美的分布式蝕刻或灰化。無斜角加工室具有圓角，可實現更好的氣體分布和最佳的蝕刻或灰度均勻性。蝕刻器/asher還具有Pulsatron調節和定時技術，旨在降低蝕刻時的化學濃度不穩定性。該機設計有可變壓力控制室和溫度控制，與蝕刻或灰化應用相匹配。此外,JSPCS-750還為非理想的進氣值提供高級補償,使用戶可以輕松定制過程參數,如溫度、壓力和流速。蝕刻器/aser的精密真空工具可以安全地清除加工室內的蝕刻或灰化殘留物和顆粒汙染物,以便快速、方便地清洗介質。資產還包括可變位置/角度消融源,以實現可重復的過程均勻性。QUATERNARY JSPCS-750為經濟高效的快速周轉生產運行提供了高容量/吞吐量能力。采用動態HeNe-LiDAR激光束穩定模型進行了精確控制，提高了加工精度。該設備還集成了氧增強蝕刻化學，以改善需要高空間分辨率控制的半導體材料的加工。該蝕刻器還具有三級電源開關和電壓監控功能,可實現高效的電源管理和無故障的長期運行。