二手 QUESTER / ALCANTECH MAS 801 #293592866 待售

QUESTER/ALCANTECH MAS 801是一款專門針對半導體行業工藝的高級蝕刻器/asher。它能夠對包括矽、鋁、二氧化矽和其他導電或電阻材料在內的各種半導體材料進行高精度蝕刻和灰化。QUESTER MAS 801具有三維真空室，配備了兩臺ALCANopro脈沖射頻和直流發電機，使其能夠提供非常精確和均勻的配電。這一特性使得該單元對於蝕刻工藝特別有用，確保了高精度和低顆粒水平。ALCANTECH MAS 801還有一個大型陶瓷蝕刻室，能夠處理各種腔室尺寸，讓客戶根據所需的最終產品量身定制蝕刻配置。MAS 801的精密氣流控制和監控設備進一步增強了其蝕刻能力，實現了對蝕刻速率和側壁輪廓的精確控制。這種精確的控制允許對蝕刻過程進行更高級別的控制和準確性,減少缺陷並實現更高的吞吐量。QUESTER/ALCANTECH MAS 801還包含一個先進的排氣過濾系統，這給了操作員對過程的最大控制。高效過濾器可確保不會隨蝕刻氣體排出清潔室汙染物，如油和顆粒物。這種過濾裝置還大大降低了區域內的噪聲水平，保證了操作員的安全。QUESTER MAS 801具有眾多安全功能，包括自鎖安全門、氣體超壓監測機和封裝冷卻工具。ALCANTECH MAS 801巧妙設計的冷卻資產確保蝕刻室盡快冷卻，降低了因熱沖擊而發生事故的風險。MAS 801是一款可靠、精確、功能強大的蝕刻器/asher。它的高級功能，無論是在蝕刻和安全，允許它在最苛刻的環境中使用，最小的操作員監督。