二手 QUESTER / ALCANTECH MAS 801 #9226083 待售

QUESTER / ALCANTECH MAS 801
ID: 9226083
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Etcher, 6" 1990 vintage.
QUESTER/ALCANTECH MAS 801是一款設計用於多種微電子、MEMS和光電子制造應用的高端蝕刻器/asher。QUESTER MAS 801由高性能、可現場升級的計算機設備組成,具有64位多核處理器、8 GB內存和500 GB存儲。它還包括各種硬件組件,如8位線性級、12位主軸以及用於精確控制蝕刻/灰化參數的高精度模擬控制。該系統支持多個控制模塊進行精確編程、對準和實時監控,並且可以配備額外的傳感器、處理室和設備,用於更復雜的操作。該機組按照汽車行業標準建造,采用不銹鋼結構,密封的車門和隔間,以及UL批準的電源。ALCANTECH MAS 801的設計支持多種蝕刻/灰分工藝,如幹蝕刻、蒸氣相蝕刻、濕蝕刻和灰分。它還具有集成的真空系統、機械臂能力、安全監測以及控制蝕刻化學的專門冷卻系統。MAS 801為復雜的蝕刻或ashing作業提供了卓越的靈活性和性能,並采用直觀的GUI控件和全面的流程設置庫進行設計,以實現快速設置和編程。該機還具有廣泛的高級功能,包括互相關對準、自動預蝕刻階段準備、自動過程控制和車載監控。該工具適用於廣泛的應用,包括KOH蝕刻、高長寬比蝕刻、光輔助蝕刻和MEMS制造。QUESTER/ALCANTECH MAS 801采用創新設計,將現場過程控制與一系列智能功能相結合。這種靈活性和準確性的結合有助於確保成功的蝕刻和灰化性能,並最大程度地減少產品損壞和結果變化。該資產還為用戶提供一系列自定義選項,如工藝配方和參數設置,以滿足生產設施的需求,並滿足質量和工藝控制的行業標準。
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