二手 RAMCO Ram 250 #9181761 待售

RAMCO Ram 250
ID: 9181761
晶圓大小: 6"
Batch plasma systems, 6".
RAMCO Ram 250 etcher/asher是任何工業環境下可靠且性能驅動的機器。它是一種單步、五相、大功率的表面準備設備,符合行業標準,同時增強了部件準備的靈活性。這臺機器允許在同一工藝周期內同時對一種或多種產品進行高能氣體蝕刻和灰化。蝕刻器/灰化器利用一個單一的工藝室,並使用高功率射頻發生器維持的等離子體運行,從而允許在閉環真空密封大氣中進行可重復的高能操作。機器分為加工室和驅動機櫃兩部分.加工室利用1、2或3個加工區根據需要蝕刻和/或灰分材料。溫度、壓力和射頻功率可針對每個工藝區域進行單獨控制,以適應零件和客戶的需求。駕駛員櫃內裝有控制和安全系統。Ram 250的溫度範圍在80至310攝氏度之間,而壓力範圍在5 x 10-5至300毫巴之間。RAMCO RAM 250是一種穩定的系統,工作頻率為13.56 MHz,功率範圍可從0.1kW擴展到25kW,使蝕刻器/asher產生可重復的性能和質量結果。該裝置采用堅固的框架結構,並按訂單制造,並配有觸摸屏用戶控制和安全系統。該機的操作成本低,由於其高容量的效率和可用的較大的加工室。此外,每個加工區都可以獨立監測和控制,使其非常適合過程一致性至關重要的區域。Ram 250 蝕刻器/asher提供卓越的輸出,而不犧牲質量。它具有承擔多項任務的能力,對於重復處理操作具有很高的可靠性。它的靈活性使得它既可用於批量加工,也可用於連續加工,而其高能量運行、長期耐用、低運營成本使其成為眾多行業的絕佳選擇。
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