二手 RAMCO Ram 250 #9181898 待售

RAMCO Ram 250
ID: 9181898
晶圓大小: 6"
Batch plasma system, 6".
RAMCO Ram 250是一款蝕刻器和asher,專為制造和實驗室環境中的工業和研究應用而設計。它能夠進行廣泛的蝕刻、灰化和燒蝕過程,從而使用戶能夠控制蝕刻和灰化過程。Ram 250具有12 「x 14」電容耦合腔室,該腔室旨在最大程度地減少外部源的汙染並提供統一的蝕刻輪廓。腔室采用不銹鋼蓋子和合金絕緣墻構成,包括一個單一的光掩模支架。它可以處理多達10英寸的晶片,具有一系列的蝕刻化學物質,如Ar、O2和CHF3。該系統在0.2-2.0 Torr的壓力範圍內運行,允許在濕法和幹法蝕刻化學中同時進行高速率和高選擇性蝕刻。除了蝕刻功能外,RAMCO Ram 250還提供灰化功能,使用戶能夠有選擇地從基板上移除光刻塗層。它可以加工直徑達10英寸、厚度達4英寸的基板。除灰化外,系統還提供濺射清洗、沈積蝕刻和蝕刻沖洗工藝。Ram 250有幾個功能使其適合研發應用,包括其雙頻射頻電源、可調氣流、數字讀數以及車載安全和校準控制。它還為多個工藝室提供了一個6端口旋轉閥,確保多個基板可以同時處理。在安全方面,RAMCO Ram 250的設計符合職業安全及健康管理局(OSHA)的要求,並配有一個無通風口系統,以消除進入實驗室的潛在危險氣體排放。此外,經歐共體、UL、CSA批準。總體而言,Ram 250是一款多功能的蝕刻器和asher,在一個小巧、易於使用的單元中提供蝕刻和灰化功能。它具有可靠的性能,具有多種安全性和效率特點。RAMCO Ram 250是實驗室和制造商的理想選擇,它們尋求可靠且用途廣泛的蝕刻器,並可用於各種蝕刻和灰化應用。
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