二手 RAMCO Ram 280 #293643660 待售

RAMCO Ram 280
ID: 293643660
晶圓大小: 8"
優質的: 1993
Asher, 8" 1993 vintage.
RAMCO Ram 280是一種最先進的蝕刻器/asher,主要設計用於半導體的工業蝕刻和灰化。本機采用反應室、精密的氣體控制、機器人技術和壓力調節相結合,確保最佳蝕刻和灰化效果。該設備利用一個由耐腐蝕材料構成的真空室,以及一個自動機器人系統進行蝕刻和灰化。機械臂采用遙控磨料工具量身定制,晶圓采用拾取裝置操作,可調節壓力調節器用於精確控制。采用壓力調節器控制氣體的輸送,以獲得最佳的蝕刻和灰化效果。直觀的用戶界面包括圖形用戶界面(GUI)和觸摸屏控件,便於操作。它還具有自動驗證用戶ID並允許訪問各種參數和功能的軟件。此外,RAMCO MES軟件套件允許從以前的流程中持久訪問數據,並有效跟蹤參數和結果。Ram 280配備了溫度控制機,用於真空室的溫度監測。該工具包括溫度傳感器、熱電偶和熱電偶數據記錄器,能夠在蝕刻和灰化過程中精確控制溫度。該資產的設計具有過程控制和監控功能,以確保高蝕刻/灰分產量和可靠性。這是通過一個過程監控模型來實現的,該模型提供了對過程變量的實時監控,從而可以控制蝕刻/灰燼過程。流程監控設備可配置為監控和報警流程變量超出範圍限制,提供準確的反饋和控制。此外,該系統還具有用於生產和質量控制的數據收集的過程可追蹤性功能。RAMCO Ram 280是一個高效、準確和可靠的蝕刻器/asher單元。它的設計具有最高級別的安全功能,包括氣體安全關閉、溫度監測和安全殼,以確保安全的操作環境。無論是在工藝開發還是生產環境中使用,Ram 280都提供了質量蝕刻/灰分結果。
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