二手 RAMCO Ram 5 #62126 待售

RAMCO Ram 5是半導體工業中使用的最先進的蝕刻和灰化機。它是一種健壯、快速、精確的工具，用於蝕刻和灰化諸如IC、MEMS和其他微電子元件等精細元件。Ram 5提供同類產品中最高的蝕刻和灰化性能,最大限度地利用正常運行時間、準確性和可重復性。RAMCO Ram 5具有自動裝卸機制,可處理10 「x 14」以下的部件。主室增加了可用於裝卸多達8個「x 12」零件的體積。該設備設計為在高達400°C的溫度下運行，工藝壓力高達10 Torr。對於需要惰性大氣的應用，可以選擇氮氣。此外,射頻蝕刻和灰化工藝允許獨立優化蝕刻和灰分輪廓以提高產量。Ram 5配備了功能強大的過程控制器和觸摸屏顯示屏,可提供手動和自動化操作。它最多可在250個步驟中存儲10種食譜，並具有用戶友好的界面。控制器還支持PC連接集成電路測試儀，以及自動化計量，可以精確處理可重復蝕刻和灰化結果。該工藝氣體輸送系統確保了精確的操作，並產生了可重復的蝕刻和灰分結果。它還有一個集成先進的數字過程控制單元，用於保持溫度、壓力和流量恒定。此外，這臺機器還配備了一個雙口袋集成的顆粒過濾工具，可以清除加工氣體中的任何顆粒汙染。RAMCO Ram 5是一款專業級蝕刻器和asher,在安全性、可靠性和性能方面均符合並超過行業標準。它受到各個行業的信賴，可用於薄膜和互連層的蝕刻和灰化、圖案化、成像等多種應用。Ram 5具有先進的工藝控制、高精度和可重復性,是半導體制造業高產、經濟高效的工藝的理想工具。