二手 RAMCO RAM8500-II #293625752 待售

RAMCO RAM8500-II Asher/Etcher是一款高性能等離子體處理設備,提供卓越的性能、前所未有的靈活性和卓越的可控性。該單元結合一個新的集成控制系統提供蝕刻和灰化功能，該系統共同提供對基板加工的精確控制。它能夠在一系列薄膜和厚膜上執行精確的蝕刻和灰化功能。RAM8500-II利用增強的等離子體源和處理模式，產生高均勻度的蝕刻、清洗和灰化操作。綜合控制單元和處理參數提高了處理的整體一致性和準確性；最先進的圖形用戶界面允許操作員快速輕松地輸入處理參數。此外，該單元可以被編程為自動執行復雜的蝕刻、灰化和清洗序列。RAMCO RAM8500-II可以在蝕刻或灰化模式下運行各種氣體。對於蝕刻和灰化過程，RAM8500-II可以在各種腐蝕性和氧化蝕刻和灰化反應（例如F2、O2、N2和Ar）中處理薄膜。該裝置還能夠使用惰性惰性氣體（例如Ar、He和N2）進行蝕刻、清潔和灰化操作。RAMCO RAM8500-II具有廣泛的處理功能,允許用戶根據基板和應用程序的要求來定制其工藝。集成控制機器和過程參數允許用戶精確控制等離子體處理參數，允許更大的過程控制和可重復性。該單元可用於廣泛的薄膜蝕刻和灰化操作，如隔離蝕刻、淺溝隔離（STI）蝕刻、抗剝離和灰化以及多層金屬（MLM）蝕刻和灰化。RAM8500-II Asher/Etcher在一系列薄膜蝕刻和灰化系統中提供了最大的測量精度和控制。利用其改進的等離子體源和集成軟件，它為用戶提供了對蝕刻/灰化過程的精確控制，允許具有高精度和重復性的可重復結果。因此，RAMCO RAM8500-II非常適合廣泛的薄膜蝕刻和灰化應用。