二手 RF SERVICES RFS 500 #75542 待售

RF SERVICES RFS 500 蝕刻器/asher是一種專為工業級工藝而設計的離子蝕刻和灰化裝置。該裝置有助於聚酰亞胺基板上氧化鉻薄膜的生產，適用於半導體等相關行業。它配有兩個陰離子管和兩個陽離子管，非常適合蝕刻和灰化過程。它可以同時提供高達10nm/min的蝕刻速率和高達5nm/min的蝕刻速率。RFS 500利用13.56MHz的射頻提供具有相應高反應率的高功率電平。其高功率功能確保了薄膜的快速高效蝕刻,有助於最大限度地減少停機時間並最大限度地提高生產效率。該裝置還為陰離子和陽離子提供可調節的流量，從而可以精確控制蝕刻和灰化過程。它還具有集成的射頻發生器，因此用戶可以輕松調整輸出頻率，以確保準確的結果。RF SERVICES RFS 500的設計考慮到了用戶的安全和便利,配備了寬敞的工作機櫃,既防塵又耐熱,從而減少了汙染的可能性。它的低噪聲結構允許它在緊密的制造環境中使用，確保生產過程平穩運行。蝕刻器還附帶一個專門的軟件包，讓用戶可以輕松監控蝕刻過程，這樣他們就可以優化自己的生產，確保自己的基材滿足最高的質量要求。總體而言，RFS 500是一個高性能的離子蝕刻/灰燼系統，提供高功率反應性、無塵和耐熱結構、可調流量和頻率的組合，以及直觀的軟件包，以確保準確高效的生產過程。