二手 RUIMING HESL012 #9356202 待售

瑞明HESL012是一種使用等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）技術的蝕刻器/灰化器。該設備設計用於生產氧化膜、多晶矽膜和其他用於集成電路應用的薄膜材料。它擁有200毫米× 200毫米的金屬托盤面積和高達40KHz的高頻電源。電源可設置為最大1080W,氣體系統可設置最大流量250 SCCM（標準立方厘米/分鐘）。此外，它還能夠運行等離子體蝕刻模式、離子蝕刻模式、離子摻雜模式等多種進程模式。PECVD蝕刻過程利用反應性或惰性氣體通過在腔室級施加高頻功率來產生等離子體。氣體被電離，其化學和物理活動分解底物和二氧化矽層之間的鍵以形成均勻致密的氧化物塗層。要創建足夠的氧化層，可以根據所需的結果調整幾個工藝參數。這些包括功率水平、壓力、氣流等，允許精確控制薄膜厚度、表面粗糙度以及氧化物的其他性質。HESL012 蝕刻器/asher還具有真空泵、熱電偶和溫度控制功能。真空泵有助於反應室的疏散，使其能夠正常工作。熱電偶測量基板的表面溫度，而溫度控制單元調整室內溫度以維持所需的結果。這款蝕刻器/asher配有水冷和空氣過濾系統，有助於保持機器溫度並提供安全的工作環境。總之，瑞明HESL012蝕刻機是一種結合了先進PECVD技術的強大而精確的機器。在生產優質氧化膜等集成電路薄膜材料時，有效地兼顧了蝕刻退火任務。除了對微尺度結構進行高效處理外，還提供了出色的安全特性。