二手 SAAN SPNP-2200-01000XZ #9283923 待售

SAAN SPNP-2200-01000XZ是一種高端蝕刻器/灰化器，可以進行廣泛的蝕刻和氣相沈積過程。它具有堅固的設計，具有高效的12 kW負載功率，可調加熱區，工作區容量可達30升，可編程工作面旋轉，可調節旋轉輪，易於操縱。SPNP-2200-01000XZ還擁有可靠的石英管粉碎機，用於固體基材加工。對於蝕刻工藝，SAAN SPNP-2200-01000XZ配備等離子體壓力、能量和載荷電流的多級控制，以確保較高的材料去除率和元件精度。該蝕刻器與一個可選的石英蝕刻室配對，以提供額外的功率和精度。此外,SPNP-2200-01000XZ還具有獨特的氣體安全聯鎖系統（GSI）,可防止整個過程中出現意外氣體泄漏。對於氣相沈積過程，SAAN SPNP-2200-01000XZ可以通過定制的石英管灰化器輸送材料進行濺射或蒸發沈積。其可調的軟件和硬件使用戶能夠控制基板溫度、電流密度、沈積速度以及粒型尺寸和形狀。此外，消火器提供精確的溫度和濃度控制反應物氣體與強大的傳感器和儀器的濕度，壓力，和流動。SPNP-2200-01000XZ還提供廣泛的支持服務,包括預防性維護、故障排除、流程優化和保修。SAAN SPNP-2200-01000XZ通過其頂級特性和功能,非常適合各種蝕刻和加熱沈積過程。