二手 SAMCO FA-1 #9279755 待售

SAMCO FA-1
ID: 9279755
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
Etcher, 6" 1996 vintage.
SAMCO FA-1是一種全自動蝕刻和灰化機,設計用於優越的基板清潔和去除塗層。采用低溫氧化和蝕刻/灰化方法,采用兩步清洗工藝,提供優良的底物清洗和塗層去除。氧化過程利用高頻、低功率電流在基板表面形成均勻的氧化層。然後,蝕刻/灰化過程利用真空操作等離子體源的高溫高壓等離子體射流去除氧化產生的氧化層。這種方法即使是最難到達的表面也能非常有效地去除氧化物。FA-1能夠在高達1000 °C的溫度下在平面和非平面基板上蝕刻/灰化。溫度範圍為0°C ~ 1000 °C,可變循環時間為20、40、60或80分鐘。該系統還提供了-1000 ~ 1000 mbar的可變蝕刻/灰度壓力範圍,這使得SAMCO FA-1各種蝕刻和灰度應用的理想選擇。FA-1的腔室尺寸為60毫米x 480mm,為不同尺寸的基板的蝕刻和粉刷提供了充足的空間。SAMCO FA-1是一種快速有效的蝕刻/灰化溶液,提供出色的基板清潔和塗層去除。它是一個可靠、自動化的系統,具有最高的產品性能和安全標準,同時節能。FA-1是任何需要進行基板清潔和去除塗層的蝕刻或灰化應用的理想選擇。
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