二手 SAMCO PC-1100 #293802272 待售

SAMCO PC-1100是一種針對半導體工業中先進的微制造工藝而設計的蝕刻和灰化機。其先進的蝕刻和灰化能力、高吞吐量、高精度和可重復性,以及先進的控制設備,使其成為各種設備制造過程的理想選擇。這臺機器的核心是獲得專利的蝕刻頭，它可以支持廣泛的蝕刻和灰化技術，包括化學氣相沈積（CVD）、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）、電子回旋共振（ECR）、磁控濺射和濕蝕刻。蝕刻頭配有適當的加熱器，以協助統一蝕刻和/或灰化。提供的5軸級、帶自動對焦導航系統的顯微鏡和車載扭矩發生器進一步促進了PC-1100蝕頭的設置和使用。SAMCO PC-1100能夠蝕刻尺寸小至50 nm的結構和特征,在最短的時間內促進精確的目標制造。該設備獲得專利的Easy Setup Wizard確保了為目標編程蝕刻參數時的簡便和準確性,使設計人員能夠輕松地快速制造設備結構。機器還可以被編程為具有高度重復性的蝕刻，消除了需要多個周期的蝕刻以達到所需的設備特性。PC-1100還具有一個多區域溫度控制器，用於在蝕刻過程中控制基板和腔室溫度。此外，多區控制器還為控制蝕刻斜率提供微調能力，這對於高端蝕刻應用至關重要。SAMCO PC-1100還支持一套全面的安全功能，包括高壓水探測工具、惰性氣體控制資產、腔室壓力監測模型和真空監測設備，以確保操作員的安全和設備保護。總之，PC-1100是一種采用先進技術制造的先進蝕刻和灰化機，具有更高的吞吐量、更高的制造精度和可重復性。它為制造復雜復雜的器件結構提供了可靠、簡便的方法，非常適合用於復雜的半導體器件應用。