二手 SAMCO PD-200D #9048861 待售

SAMCO PD-200D
ID: 9048861
Sputtering system Application: DLC Film molding.
SAMCO PD-200D 蝕刻器/asher是一種精密蝕刻/灰化機,設計用於各種實驗室和制造應用。它能夠精確蝕刻或粉刷各種材料,包括玻璃、矽、金屬和塑料。蝕刻器/灰化器利用其先進的設計,利用感應耦合的等離子體源產生高能反應性離子和氣體,這些離子和氣體可以快速、準確地蝕刻或灰基。該機器采用剛性框架,由外鋁壓鑄外殼組成。為確保最大精度和控制,腔室內部經過精確加工,達到0.5微米的平坦度規格。腔室配有阻抗匹配、高速真空泵和真空線,可靠、可重復運行。該機還具有多種控制系統。等離子體由一個PID環路控制,該環路在幅度和頻率上都可以用模擬/數字儀表調節。位於蝕刻室內部的基板支架可以調整傾斜和旋轉角度,可以容納各種形狀和尺寸,用於定制蝕刻。這些設備還配備了一個計算機控制的計時器,用於精確的蝕刻和灰度計時,可調間隔最多999分鐘。蝕刻器/asher的最高工藝溫度為200攝氏度,壓力範圍為0.1-25 torr。它可以處理多達24 「x 24」的基板,並能達到每分鐘高達11厘米平方的蝕刻/灰化速度。利用工藝溫度、壓力和真空水平控制,機組還可以將蝕刻/灰度時間保持在最小。PD-200D 蝕刻器/asher是一種功能包裝的機器,旨在滿足實驗室或制造應用的需要。其精密與控制的結合,使其成為各種材料蝕刻和灰化的理想選擇。
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