二手 SAMCO PD-200D #9048862 待售

SAMCO PD-200D是專門為半導體和電子制造中的高質量蝕刻和灰化應用而設計的蝕刻/灰化器。這種模型是一種雙腔室的基準設備，可同時使用濕法和幹法蝕刻和灰化工藝以及集成的輸送和工藝控制系統。PD-200D系統具有密閉蝕刻室，可進行高精度蝕刻和灰化，並具有精確的溫度控制和過程監控。它以高通量速率提供高質量的蝕刻或灰化表面，具有較高的重復性，可與包括氧氣、氙氣、六氟化硫、氫氧化銨、鹽酸等多種氣體和化學物質一起使用。該單元還采用先進的流程流控制技術,通過可為用戶的特定需求量身定制的流程配方來實現最佳的灰化性能。利用易於使用的軟件和數據采集功能,用戶可以存儲或傳輸配方以及配置流程參數。SAMCO PD-200D還包括氣體和儀器驗證以及過程監測和記錄,以確保最佳的過程性能和準確性。在蝕刻室中，金屬和陶瓷基板可以在真空中加工，允許對小或難以到達的區域進行高精度蝕刻和灰化。該蝕刻室采用負載鎖，可最大限度地減少氣體和化學物質的損失，並通過可編程的剖面控制流量，以滿足用戶的需要。用真空計控制壓力，機器配備質量流控制器，精確測量和控制氣體分布。灰燼室配有PC控制的可編程熱有機蒸氣源，允許在細膩的基板上進行精確、可重復的灰燼處理。腔室由溫度控制，可調範圍介於0°C和200 °C之間。總體而言,PD-200D的設計符合質量蝕刻和灰化的最高標準,具有精確的工藝控制、高吞吐量和卓越的可重復性。