二手 SAMCO PD-200D #9155559 待售
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單擊可縮放
ID: 9155559
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Automated ion assisted PVCVD systems, 8"
Etching and deposition of Carbon films
DLC Deposition rate: 20-30um per hour
Anisotropic etch rate: 0.25u per min
Active substrate temperature control
Compound turbo main chamber
Auto chamber lift
Xinix 1014 Endpoint detector
Chemical series Osaka TG-713M 600 lps
(3) MFC Gas lines
Luxtron 712 Fluroptic thermometer
Sierra 5000 Gas leak detector
Techware TC-111 process controller
13.5 6MHz solid state generator
Iwatsu SG-4101 RF power pulse generator
Komatsu DR 621 Isothermal bath temperature controller
Luxtron 712 Fluoroptic thermometer
Luxtron 1015 End point controller
Mitsubishi NF-SF Pressure lugs for circuit breaker
Baratron type 622A, 627A and 628A capacitance manometers
Neslab RTE-111D Refrigerated bath / Circulator (Chiller)
5RK90GU-AMUL Electromagnetic brake motor
TKC REX-F900 Temperature controllers for source MFC and oven
Sentry 5000 Gas monitoring system
641PM-26P1-X Adaptive pressure controller
64244-PE52-X Control gate valve
Gases: Nitrogen (N), Argon (Ar), Oxygen (O2) for etching DLC films CF4
20-1000 Watts
Power: 10.8 KVA 3Φ 208V AC
4.6 KVA 1Φ 115V AC
1996 vintage.
SAMCO PD-200D etcher/asher是一種可靠的尖端批量制造設備,非常適合大批量生產微調零件。該系統由具有集成蝕刻工具的高性能AMEC機械臂、微處理器控制的酸性蒸氣生成室和具有內置安全特性的主體單元組成。AMEC機械臂的設計能夠準確可靠地處理所有蝕刻過程，如晶圓表面刮擦、切割凹槽、孔、脊和微調形狀。其設計可確保零件被精確蝕刻到所需的深度和形狀,而不會受到任何底切或其他有害影響。機器人的高重復性確保了同一部分可以在多個運行中蝕刻。微處理器控制的蝕刻室使用快速抽水、清潔房間級的酸性蒸氣，以小至0.2 µm的間隔確保重復精確蝕刻。該腔室采用快速充酸設計，可快速重新啟動和不間斷的長期生產運行。它的設計確保酸性蒸氣以精確的速度釋放，防止蒸氣粘附在零件上，以及危險的過飽和。PD-200D設計具有操作員和機器人手臂的安全功能。主體單元是一個完整的水冷不銹鋼外殼，內置離子和氣體管理系統，以防止極端元素和汙染物。封閉式控制裝置配有電氣安全證書，為安全起見，不斷監測蝕刻室內的酸含量。還包括各種安全傳感器，以提供警報或關閉機器，以滿足維修或操作員的需要。SAMCO PD-200D工具作為一種通用的、生產級的蝕刻器/灰化器，非常適合大容量的金屬蝕刻和灰化。它是可靠的設計,可確保精密、可重復性和安全性地生產經過微調的零件。
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