二手 SAMCO PD-2400L #9267235 待售

SAMCO PD-2400L是一種通用的離子蝕刻器/aser,能夠為客戶指定的基板執行蝕刻過程。它配備了可調頻的射頻電源，用於精確摻雜，使其能夠在廣泛的功率範圍內蝕刻。該設備采用氣體混合系統和先進的計算機控制噴射裝置，可對反應性氣體部件進行精確的流量控制。該PD-2400還提供各種清潔選擇，包括等離子體、高壓清洗和濕式化學選擇。PD-2400的射頻源由一系列連接到超低噪聲直流源的調諧電容器組成。這樣可以調節射頻頻率,範圍從600kHz到4.5MHz,使量身定制的蝕刻能夠滿足客戶流程的標準。可調射頻源可產生高達2400W的功率,輸出電平可在0-100%之間調節。PD-2400的供給機能夠為化學蝕刻過程提供各種各樣的氣體。這些包括氧氣、氮氣、六氟化硫等。該工具還能夠混合氣體，每個組件的流量都得到精確控制。這使得這一過程更有效率和成本效益。資產具有蝕刻過程的標準PC控制功能，允許用戶對蝕刻參數以及輸入和輸出參數進行編程。用戶界面還便於監視當前蝕刻周期,以及啟動和停止進程或設置特定參數。此外，PD-2400L還配備了多種有用的安全功能。其中包括一個自動關閉模型，如果發生任何問題，將關閉設備的電源，以及一個防止電離粒子堆積的電離探測器。此外，系統的側盾設計用於保護工作區域免受蝕刻過程中泄漏的腐蝕性氣體的侵蝕。SAMCO PD-2400L是一種多功能的蝕刻器/aser,能夠使用各種氣體組件執行各種蝕刻過程。可調諧的射頻頻率和可調節的功率保證了精確的蝕刻，而安全特性和用戶界面的陣列使得這個單元成為任何蝕刻項目的絕佳選擇。