二手 SAMCO PD-2400L #9292386 待售

ID: 9292386
PECVD System.
SAMCO PD-2400L是一種精密的灰化器/蝕刻器,旨在提供金屬、玻璃、陶瓷和半導體等基材的精密蝕刻和灰化。它的設計包括一個電動升降機設備、一個集成的油氣浴室系統和一個有助於減少汙染的雙壁真空室。電動升力裝置確保基板在預定義的蝕刻程序上的精確垂直運動,在每個周期提供可重復的結果。綜合油氣浴機由油氣蒸發器和油氣容器兩部分組成。油蒸發器用於去除蝕刻過程中底物中可能存在的任何剩余揮發性有機化合物(VOCs)。然後將蒸氣收集到油蒸氣容器中作進一步分析。雙壁真空室提供低水平氧氣和惰性氣體的清潔環境,確保蝕刻過程中不會發生汙染。PD-2400L具有多種功能,包括用於精確控制蝕刻過程的可編程邏輯控制器(PLC)、數字溫度控制器、數字壓力表以及用於精確和可重復蝕刻的數字計時器。此外,該工具還配有激光引導的蝕刻室門,在蝕刻過程中便於訪問和精確觀察基板。SAMCO PD-2400L還配備了廣泛的傳感器,包括冷熱激光探測器、溫度傳感器、液位傳感器、壓力傳感器和載荷/力傳感器。此傳感器陣列允許任何其他asher/etcher無法比擬的自動化和精度級別。PD-2400L還具有一系列安全特性,包括氣體調節器、超壓探測器、沖擊探測器和真空互鎖資產,確保參與蝕刻過程的人員的安全。此外,SAMCO PD-2400L設計為環保,發出的噪音水平低,揮發性有機化合物(VOC)水平明顯低於監管標準。該模型還具有高能效和可靠性,確保了高生產率。總體而言,PD-2400L是一種高度先進的蝕刻器/灰化器,旨在提供各種基材的精確蝕刻和灰化。其電動升降機設備、集成油氣浴室系統和雙壁真空室提供了清潔、無汙染的環境,而其廣泛的傳感器和安全功能確保了安全和精確的蝕刻過程。此外,它的低噪音和VOC水平有助於確保它是一個環保單元。
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