二手 SAMCO PD-270STA #9055166 待售

SAMCO PD-270STA是為微電子制造工藝而設計的高質量蝕刻器/asher。它是一種結合等離子體蝕刻和反應性離子蝕刻技術的高效可靠的工具。PD-270STA具有多種先進功能以最大限度地提高性能,包括用於優化蝕刻參數的多段設備、高精度基板定位系統和集成的多氣體輸送單元。SAMCO PD-270STA的多段單元通過允許用戶為蝕刻室的每個區域設置優化的蝕刻參數來實現提高蝕刻效率和均勻性。這臺機器使用戶能夠為每個段設置操作時間、功率、氣體流量和其他參數,並確保基板的均勻蝕刻。PD-270STA的高精度基板定位工具確保了對各種基板材料的精確處理。該資產能夠進行12位高分辨率橫向和10位垂直移動,以處理各種尺寸從0.008英寸到6英寸不等的基板。綜合多氣體輸送裝置旨在通過提供精確的反應性氣體混合物，最大限度地提高蝕刻工藝的效率。該單元確保等離子體在基板上的均勻分布，以增強蝕刻均勻性。SAMCO PD-270STA能夠在高頻和低頻下運行,等離子體功率高達250瓦,蝕刻速率高達0.7微米/分鐘。該裝置適用於微電子生產工藝，包括氧化矽蝕刻、矽蝕刻、金屬蝕刻等工藝。PD-270STA是一種非常可靠和經濟高效的蝕刻模型，旨在節省微電子生產的時間和金錢。它的高級功能使其成為各種蝕刻過程和應用的理想工具。