二手 SAMCO RIE-10N #9354075 待售

SAMCO RIE-10N是由日本半導體器件領域領先的設備供應商SAMCO制造的蝕刻器/asher。這臺機器提供了一種可靠可靠的蝕刻/灰分工藝，可以在各種基材中創建復雜的圖樣。RIE-10N設有反應室和處理室，可同時蝕刻和粉刷晶圓和基板表面。反應室與加工室分開加熱，使用戶可以精確控制蝕刻或灰分過程的溫度。反應室的嚴密溫度控制對於在晶片和其他表面創建戰略性設計的表面特征非常重要。SAMCO RIE-10N能夠對尺寸不超過20 「x 20」的基板進行剝皮和灰化處理。一個感應耦合等離子體（ICP）源集成到機器中，使蝕刻和灰化能夠同時進行。此功能是有益的,因為它大大縮短了處理時間,並允許用戶實現非常嚴格的尺寸公差。RIE-10N還配備了大型真空設備，底壓為1.3x10-5 Torr。這允許了非常高質量的等離子體蝕刻結果，使得機器適合許多不同的蝕刻和灰化應用。SAMCO RIE-10N具有用戶友好的圖形用戶界面（GUI）,可方便高效運行,並可精確控制氣體流量、溫度、壓力和射頻功率等參數。該機可配備真空卡盤或非真空系統，用於任何基板的超細加工。可選的端點檢測單元允許用戶控制蝕刻和灰燼過程並快速識別過程的終點。RIE-10N還具有先進的安全功能,例如內置聯鎖機器,可防止人員在操作時進入處理室,以及警報工具,以在發生緊急情況時向用戶發出警報。所有這些特性的結合使得SAMCO RIE-10N半導體器件制造的絕佳選擇。