二手 SAMCO RIE-10N #9407762 待售

SAMCO RIE-10N是一種主要用於制造矽芯片的蝕刻和灰化設備。它可以快速去除矽基板上的光刻膠和其他表面汙染物。該系統允許精確控制蝕刻速率、晶圓溫度、壓力、氣體流速和氣體混合比等參數。它旨在滿足高吞吐量生產的需要,同時提供可重復、均勻的蝕刻和灰化結果。RIE-10N設計提供靈活的操作和易於維護。它的設計是模塊化的,可以方便地訪問組件和快速更換。采用鋁制框架、濕度和溫度控制系統以及不銹鋼穿孔托盤建造，便於維護。其特點包括實時蝕刻速率監測器、溫壓控制單元、微處理器控制的氣流控制機、微處理器控制的氣流混合比。SAMCO RIE-10N配備了一個旋轉臺，便於基板在真空室內轉移。它靈活的卡帶加載工具允許一次最多裝載10個卡帶，並轉移到RF發生器進行基板處理。還提供電力控制，資產可以處理直徑達8英寸的單個晶片。射頻發生器的設計提供精確和靈活的基板加工，同時提供可重復的結果。RIE-10N有能力處理幾乎所有的矽基板，包括重摻雜基板和具有多層結構的基板。它提供了兩個表面的精密蝕刻以及改進的設備隔離、屈服和介電強度。該模型易於導航的用戶界面允許手動和自動操作以及多模式操作。SAMCO RIE-10N通過其風扇冷卻設備、防漏氣封閥、防篡改開關以及溫度或超壓檢測系統提供安全保護。內置診斷系統在操作過程中監視所有參數,提供實時數據以提高準確性和精度。RIE-10N是MEMS制造、微電子蝕刻和灰化、動力裝置金屬蝕刻和TEG工藝蝕刻（玻璃熱膨脹）等應用的理想工具。