二手 SAMCO RIE-10NR #293656751 待售

SAMCO RIE-10NR是一種反應性離子蝕刻器（RIE），是為生產和研究應用而設計的。在SAMCO以前的RIE10-TF型號成功的基礎上,SAMCO RIE 10 NR在簡化操作和維護的同時,將蝕刻和灰化速度提高了一倍以上。RIE-10NR的真空室最大尺寸為200毫米× 200毫米，非常適合各種樣本量。它配備了雙射頻源，產生高達800 W的功率用於蝕刻，另外還有500 W用於灰化。這使得它適用於一系列的材料，包括矽和金屬。蝕刻過程由端點檢測監視,端點檢測是準確確定蝕刻操作結束的特征。RIE 10 NR還具有自動噴射控制功能，可調節蝕刻劑的流動，擦洗腔壁，提高蝕刻均勻性。蝕刻是通過一種可再填充的液態SnCl2溶液實現的，該溶液防止碎屑堆積在室內並保持系統溫度。這減少了雜質的存在，並允許高蝕刻選擇性和均勻性。該腔室與一個前瞻性光學視口連接，該視口可以監測蝕刻過程，並能夠對蝕刻樣品進行快速相機檢查。SAMCO RIE-10NR還提供了一種低調的模塊化設計,它集成了閥堆棧、粗加工泵和光學視口下方的控制器。這樣就不需要外部布線,從而在維護過程中節省了時間和成本。對於高級應用，SAMCO RIE 10 NR可以加裝一個用於淺溝隔離的高頻源。此外,還可以升級系統的一系列附件,如渦輪泵、側視攝像頭和濺射離子源,以提高通用性。綜上所述，RIE-10NR是一個強大而可靠的生產和研究蝕刻和灰化系統。它的雙射頻源、端點檢測和自動噴射控制提供了高級流程所需的精度和精確度,而其低調和模塊化的設計比其他RIE系統節省了成本和時間。