二手 SAMCO RIE-10NR #9083619 待售

SAMCO RIE-10NR是一種單頻、射頻等離子體蝕刻器/asher。它使用射頻感應激發（RIFE）過程，利用單頻、高頻無線電信號來產生感應耦合等離子體。SAMCO RIE 10 NR具有最佳蝕刻性能的13.56MHz頻率範圍，可用於蝕刻矽、玻璃、金屬、聚合物等多種基材。RIE-10NR的特點是設計緊湊,射頻發電機、氣體分配單元和射頻供電單元均合並為一個單元。這允許對射頻發生器進行高精度蝕刻和精確控制。蝕刻器/asher還具有易於調節的腔室尺寸，使得晶圓尺寸從5-10厘米進行處理。RIE 10 NR使用了一系列線圈來產生RF功率場。這些線圈被封閉在全金屬不銹鋼腔室中，以確保高精度蝕刻和防止交叉汙染和磨損。SAMCO RIE-10NR使用直接氣體輸送系統，以確保整個腔室的氣體流動均勻。這樣可以精確控制工藝氣體，以達到最佳蝕刻速率。可以通過調節壓力調節器來控制過程壓力，從而保證蝕刻深度和輪廓的均勻性。SAMCO RIE 10 NR還允許精確控制氣體混合物，從而實現更高的蝕刻速率和更好的蝕刻輪廓定義。RIE-10NR提供了非常高的精確度蝕刻速率，與蝕刻參數的精確控制。它還具有具有多種配方設置的單次蝕刻過程,可在一次運行中啟用多個蝕刻過程。該蝕刻器具有長達5分鐘的短周期,可通過提高質量控制來提高吞吐量。它還具有內置的溫度和溫度均勻性控制以及用於精確控制蝕刻過程的機器人界面。RIE 10 NR是高精度蝕刻應用的理想蝕刻器/asher，在蝕刻過程中提供高精度和重復性。此外,它的集成模塊化設計確保了低維護和易於操作。此蝕刻器/asher為各種行業的微加工、表面修改和其他蝕刻應用提供了理想的解決方案。