二手 SAMCO RIE-10NS Alpha #9105716 待售

SAMCO RIE-10NS Alpha是一種蝕刻器/asher，設計用於生產集成電路芯片。它是一款高端、高精度的蝕刻器/asher,具有適合高要求生產操作的特點。RIE-10NS Alpha的工作原理是在基板上印上抗性材料的圖樣。然後將這種模式暴露於氧化劑中。蝕刻或灰化過程包括從基材中去除材料以創建圖樣,並由抗蝕劑圖樣控制蝕刻特征的形狀和大小。SAMCO RIE-10NS Alpha旨在最大程度地提高蝕刻和灰化工藝的精度。它具有多種功能，包括一個自適應控制設備，隨著蝕刻或灰化的進行動態調整電源輸入，確保精確的圖樣和快速的蝕刻時間。此外，該系統還配備了高分辨率光學顯微顯微鏡和高精度激光，用於精確測量和檢測蝕刻和灰化進度。RIE-10NS Alpha還具有多階段特征識別和映射單元。這臺機器可以檢測和分析基板上預先存在的特征，即使在產生復雜形狀或細膩特征時也能實現精確的模式映射。基材由真空卡盤整理支撐，保證了蝕刻結果的均勻性和一致性。SAMCO RIE-10NS Alpha還帶有集成真空沈積和反應物洗滌器工具。這允許生產更高精度的蝕刻和灰化工藝，即使使用更精細的線寬和更平滑的曲線。該資產還配備了高速數據采集和分析模型，可以配置為自動分析蝕刻模式並產生詳細的反饋和改進報告。RIE-10NS Alpha旨在為生產精密芯片提供最高質量的蝕刻和灰化。它結合了先進的特點和用戶友好的操作，適合在半導體生產等相關領域的苛刻應用。它可靠性高，操作方便，使用壽命長，是精確高效生產復雜設計的理想選擇。