二手 SAMCO RIE-1C #293753913 待售

SAMCO RIE-1C是由SAMCO Inc設計制造的反應性離子蝕刻器（RIE）。它是一種感應耦合的等離子體灰化器/蝕刻器，為蝕刻有機物、電介質、光致抗蝕劑和聚合物基材料提供可靠且可重復的工藝。它是一種通用RIE，其特點包括大腔室容量（直徑226mm ×深135mm）、均勻蝕刻均勻性（± 2%）、低功耗和高速運行。RIE-1C有許多關鍵組成部分有助於提高其性能。該腔室由真空密封的不銹鋼外殼組成，帶有可供查看的窗戶。其氣體輸送設備包括真空泵、壓力表和質量流量控制器。它設有氣體擴散室，以均勻混合和引導氣體流動。冷卻系統由惰性氣體封裝組成，使內部溫度在晶圓尺寸上保持均勻。等離子體發生器提供了一個電子控制的高達1625W的直流高頻源。SAMCO RIE-1C還具有保護用戶、操作員和機器的安全和控制功能。這包括一個緊急停止按鈕和一個用於監測等離子體功率輸出的電表。過程控制單元允許對壓力、氣流、功率等蝕刻參數進行詳細的過程控制。機器還包括一個直觀的用戶界面，用於編程配方和監控過程參數。RIE-1C非常適合廣泛的蝕刻應用，從清潔受汙染的表面到清除有害的沈積。它體積小巧，效率高，非常適合工業、高吞吐量和實驗室環境。該蝕刻器適用於晶片級和掩模級處理。蝕刻結果可以通過照片成像和光學審查系統進行評估。它還能夠產生高度均勻的特征、卓越的選擇性、高長寬比和減少的臨界尺寸（CD）變化。總體而言,SAMCO RIE-1C是一種高效可靠的asher/etcher。它用途廣泛，能夠用多種常用材料產生可靠和可重復的結果。安全特性和直觀的用戶界面使其成為一系列蝕刻工藝的理想選擇。此外，其大的腔室容量，均勻的蝕刻均勻性，以及高速運行，使其成為高通量和實驗室應用的良好解決方案。