二手 SAMCO RIE-200iP #9365949 待售

SAMCO RIE-200iP是設計用於半導體生產的先進蝕刻/灰化設備。該系統提供各種工藝中使用的晶片和基板的高質量、高精度蝕刻或灰化。它配備了一系列功能和控制,可進行精確、可重復的蝕刻或灰化,而不會產生汙染物或損壞細膩表面的風險。RIE-200iP提供了一個高精度的圖樣蝕刻單元，利用先進的硬件和軟件提供快速、高質量的蝕刻和最小的熱損害。其集成的監控機器允許對工藝參數進行準確監控，以確保工藝的穩定性和質量。它還具有防止汙染和確保最佳操作的自清潔工藝。該工具能夠蝕刻各種材料，包括矽、砷、金剛石、銅、多晶矽和聚酰亞胺，精確度在所有晶片上一致。利用並聯電極資產提供高質量蝕刻，並配有兩級靜電卡盤（ESC），使前後電極蝕刻都能準確進行。SAMCO RIE-200iP還提供了改進的工藝控制,允許在不影響工藝完整性的情況下微調蝕刻時間、溫度、壓力和摻雜氣體成分等蝕刻參數。它還具有自動氣體攪拌功能,可確保整個過程的均勻性能。此外,RIE-200iP還配備了內置的安全模型,可防止未經授權的訪問並確保用戶的安全。此外，該設備的設計便於與現有工廠系統集成，便於快速安裝和維護操作。SAMCO RIE-200iP提供了一個高級蝕刻/ashing系統,它提供了極好的重復性和精確度。其集成的硬件和軟件可提供快速、可靠的蝕刻和粉刷,且熱損傷最小。此外,它的自動化功能改善了過程控制並增強了安全性。這一單元使得生產具有一致特性的優質晶片和基板變得容易，使其成為半導體生產的理想工具。