二手 SAMCO RIE-200IPC #293656750 待售

SAMCO RIE-200IPC是為半導體晶片蝕刻和灰化的特定任務而設計的高效蝕刻器/灰化器。它使用許多先進的技術和功能構建,使其能夠實現高生產率和精確的過程控制。RIE-200IPC配備先進的SAM-RIE （Sam Engineering RIE）自動精密蝕刻和灰化設備。該系統由專利雙磁攪拌單元結合兩級深真空工藝和變頻微波技術組成，提供可靠、可重復的工藝效果。它還具有低工藝壓力（降至1.5 Pa）的能力，寬大的腔室溫度範圍為-5 °C至+200 °C以及快速晶圓傳輸時間（2分鐘以下）。SAMCO RIE-200IPC還配備了多種安全功能，以增加安全性和可靠性，包括自動關閉機和故障監控。該工具還提供了出色的過程重復性和可控性。資產配備了三軸運動控制器，允許操縱晶圓角進行精確蝕刻/灰化。此外,內置的前面板顯示屏和交互式用戶界面在觸摸按鈕時提供有關當前處理條件的清晰反饋。由於周期時間短,RIE-200IPC的設計可提供卓越的吞吐率。循環速率為1晶片批/15分鐘，最大吞吐量為30晶片/小時。此外，由於具有邊緣損失控制能力和有效的廢氣回收模型，它最大限度地減少了材料消耗。這種蝕刻/灰化設備由於排氣低、溫度穩定，也提供可靠的環境保護。SAMCO RIE-200IPC蝕刻/灰分系統是一個全面的單元，將滿足各種半導體應用的工藝需求。其高效的自動蝕刻和灰化機、廣泛的安全特性和強大的過程控制能力都是促成其卓越性能和可靠性的因素。