二手 SAMCO RIE-200IPC #293798661 待售

SAMCO RIE-200IPC 蝕刻器/asher是為研發應用而設計的可靠、準確且用途廣泛的等離子體蝕刻器/asher設備。該系統基於射頻氣體等離子體工藝，工件暴露於工藝氣體和匹配網絡產生的高頻電場的混合物中。此單元能夠實現高達每秒20nm的矽蝕刻速率,使其成為需要壓力敏感、高長寬比蝕刻的應用的理想工具。RIE-200IPC是一種叠代等離子體蝕刻器/灰化器，能夠在多個基板上實現均勻的蝕刻輪廓和精細的表面粗糙度。它具有振蕩電源，工作頻率0.5-50MHz，電壓可調（最高可達1500V），頻率可變，能夠精確蝕刻精致的材料。該機還具有自動工藝控制功能，便於調整任何類型材料的蝕刻參數。該工具的加工管道裝有惰性氣源，使蝕刻的蝕刻表面能夠消除敏感材料的氧化。SAMCO RIE-200IPC利用較低的熱預算來蝕刻薄膜,從而能夠以最小的應力引起的翹曲來蝕刻精細的圖樣。它還具有等離子體排氣資產，具有可調壓力控制、溫度監測等安全特性，以確保最佳工藝安全。該模型非常適合長期生產吞吐量和原型設計應用。RIE-200IPC保證了較高的吞吐量性能，在大型基板上具有+/-1%的層對層可重復性精度。它堅固可靠的設計也使它成為具有挑戰性的蝕刻應用的一個不錯的選擇，在這些應用中必須盡量減少汙染和熱扭曲。該設備在加工材料方面也具有很高的靈活性，非常適合各種蝕刻應用。SAMCO RIE-200IPC是一種多功能、高性能的蝕刻器/asher,能夠在多種材料中產生高長寬比的蝕刻。低熱預算設計、工藝參數可調、重復性好，RIE-200IPC是研發實驗室和生產設施的絕佳選擇。