二手 SAMCO RIE-200IPC #9183499 待售

SAMCO RIE-200IPC是一種反應性離子蝕刻器（RIE），設計用於蝕刻各種材料，從硬質到軟質。它是一種經濟高效的生產設備,能夠處理低運量和大運量運行量。蝕刻器裝有一個可移動的下部壓板，它允許蝕刻晶片的精確對準。這種蝕刻器具有一個標準的石英腔室，使它非常耐用和持久。RIE-200IPC具有可調節的壓力和溫度控制系統，能夠在不同深度和溫度下進行蝕刻。這些設置可以在自動觸摸屏界面上進行調整。該蝕刻器還具有板載材料列表和配方存儲功能,以實現可重復的工藝結果。該系統具有很高的可編程性，允許手動和自動操作模式。這兩種工藝氣體，即改性的O2和NF3，可獨立調節用於特殊工藝，包括高壓和低壓加工。SAMCO RIE-200IPC可以蝕刻多種材料和底物，包括硬質聚合物、矽、二氧化矽和砷化氙。蝕刻器利用反向磁控管，可以在直徑達6英寸的晶圓區域上提供均勻的蝕刻速率。蝕刻器帶有板載快門單元，可用於防止材料堆積和減少蝕刻後的過程時間。該機還配備了一個集成的粒子控制工具，有助於最大限度地減少產品汙染。這項資產是圍繞高效過濾設計的，其中包括高效的顆粒狀空氣過濾器和減少空氣汙染的HEPA過濾器。此外，RIE-200IPC還采用了免維護的遠程後處理模式，旨在減少腔室汙染。設備還配備了泄漏檢查系統和真空裝置，以監測蝕刻效率。總體而言，SAMCO RIE-200IPC是非常先進和可靠的蝕刻各種材料。其高精度的控制系統，增強的自動化，以及其車載的粒子控制機有助於減少產品汙染和優化加工結果。RIE-200IPC非常適合低批量處理,可提供高質量、可重復的結果。