二手 SAMCO RIE-200IPC #9287082 待售

SAMCO RIE-200IPC是一種反應性離子蝕刻器（RIE），用於在多種材料中產生高度可重現、高精度的蝕刻特征。適用於生產集成電路（IC）、磁記錄頭、MEMS、精密光學、光電等。RIE-200IPC是一種全自動化的高端蝕刻設備,由於結合了先進的技術和精確的過程控制,其設計目的是達到極其準確和一致的結果。它在高真空條件下運行，以實現清潔蝕刻結果，而不會削弱，介電蝕刻，或表面汙染。其高精度、高通量的自動化系統以0.2-98.0微米的分辨率確保了可重復的蝕刻特性。此外，其先進的嵌入式軟件優化了蝕刻策略，以持續監測蝕刻過程，防止結果出現任何偏差。SAMCO RIE-200IPC配有工藝室壁的同軸屏蔽，以盡量減少表面充電，一個用於完全清除工藝氣體的高質量真空單元，以及一個提高O3工藝成功率的高效ETCH DISK O3發生器。此外，該機器還包含一個高度可靠的自動基板轉移工具，用於裝卸最大尺寸為12 「× 12」的基板。此外，RIE-200IPC還配有惰性鋁合金工藝室，可延長設備使用壽命、模塊化清潔和維護資產以及智能數字通信接口。它配備了直觀的圖形用戶界面，用於蝕刻配方的配置、模型運行的監控以及數據采集，以便進一步分析。該設備還支持基板自動裝卸、氣體輸送、排氣處理、排放監測等外圍設備。SAMCO RIE-200IPC為各種材料（包括金屬、氧化物、氮化物、塑料等）的蝕刻提供可靠和可重復的性能。它非常適合制造小規模、高精度的特征,並適用於大規模的生產蝕刻應用。總體而言,RIE-200IPC是一種功能強大、用途廣泛且自動化的無功離子蝕刻解決方案,能夠以最短的吞吐量時間提供卓越的蝕刻效果。