二手 SAMCO RIE-200L #9157970 待售
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SAMCO RIE-200L是一種射頻蝕刻器（RF），專門設計用於在蝕刻或灰化各種基材時產生高質量、快速的結果。RIE-200L配備了先進的離子源和強大的冷卻負載能力，使其能夠在脈沖模式下運行更長的時間。由於增加了一個水冷卻板，從而消除了任何可能的熱量積聚，蝕刻器的熱管理也得到了改進。SAMCO RIE-200L采用緊湊的設計和用戶友好的組件和布局,是眾多研究和行業工程師的首選。蝕刻器帶有可調節的頻率輸出，提供精確的功率程度和自動精度。控制箱具有高分辨率液晶顯示屏，各種參數可快速輕松調節。此外，該系統還配有安全聯鎖系統和緊急關斷開關，保證了操作過程中的最低風險。RIE-200L能夠使用三種氣體-O2、CF4和Ar-以及各種底物,包括鋁、、、金和摻雜矽。該系統支持高達11.7nm/min的令人印象深刻的蝕刻速率，淺或深蝕刻精度分別為1 ~ 3微米和6 ~ 30微米。此外，蝕刻器帶有一個內置的排氣過濾器，用於收集顆粒和收集加工產生的任何廢物。SAMCO RIE-200L作為一種多功能、可靠的蝕刻器,是各種行業和應用的優質資產。其高蝕刻速率和精確度使其成為生產各種電子或機械工業所用的高品質零件的理想選擇。自動化精度和可調頻率輸出的結合，無疑將使工程師能夠探索新技術，開發突破性的產品。
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