二手 SAMCO RIE-200NL #293621510 待售

SAMCO RIE-200NL是由SAMCO Technologies設計制造的蝕刻和灰化設備。該系統設計用於各種蝕刻和灰化應用，如電子、半導體和光電子。RIE-200NL采用感應耦合等離子體蝕刻工藝，比傳統的各向異性蝕刻工藝和極低溫蝕刻工藝具有優勢。這允許用戶控制蝕刻速率，調整能量，修改工藝參數以達到所需的結果。該單元配備了高級控制器，為控制蝕刻過程和操作參數提供了通用功能。它還包括一個自我診斷功能,用於檢查機器性能和可以遠程訪問的診斷程序。SAMCO RIE-200NL具有一個具有四個獨立氣體通道的氣體入口歧管，使該檢測器能夠選擇最佳的氣體混合物。該工藝室由不銹鋼和石英制成，提供出色的溫度和壓力控制。腔室還具有可移動的側壁，使得處理大型晶片和多個基板配置成為可能。RIE-200NL采用高效雙頻微波發電機設計，可保持較低的內部溫度，最大限度地減少顆粒汙染。它還提供了用戶的可編程性，允許用戶輕松定制流程參數和配方。用戶還可以監控原位晶圓溫度。可選的底板允許快速定制配方,並有助於最大程度地減少交叉汙染。它還與廣泛的蝕刻化學體系兼容，包括鹵素基蝕刻、硫基蝕刻以及氯和氟基蝕刻。SAMCO RIE-200NL 蝕刻器/asher是研究和開發高級蝕刻和灰化工藝的理想工具。它具有多功能、高精度和易用性,適用於包括半導體、光電、微電子以及其他需要蝕刻和灰化工藝的行業在內的廣泛應用。