二手 SAMCO RIE-212ip #293760254 待售

SAMCO RIE-212ip是為敏感蝕刻應用而設計的一種先進的反應性離子蝕刻（RIE）系統。它非常適合從半導體制造到生物醫學工程的應用。RIE-212ip具有12英寸晶圓尺寸的功能,是任何需要更高吞吐量的應用程序的理想選擇。它具有精確定位蝕刻工藝的高精度光學元件，可處理五條帶有最多兩個獨立真空室的蝕刻氣體服務管線。機器的用戶界面允許精確控制蝕刻參數，並提供對工藝條件的實時監控。SAMCO RIE-212ip能夠在高達200°C的溫度下運行,並且可以處理各種精密蝕刻工藝。低溫蝕刻的兩種工藝氣體的並發流動可以通過腔室，使其成為加工鋁、矽、鈦合金的理想選擇。蝕刻機內可調節的總壓力還允許在此過程中嚴格控制蝕刻。RIE-212ip使用的高精度直驅步進電機使其具有出色的工藝重復性和準確性。電機具有水平和垂直讀取的玻璃編碼器，使機器適應各種蝕刻應用。機器底部的防反射塗層濾光片可防止蝕刻過程中的光反射，最大限度地減少光散射，提高工藝精度。SAMCO RIE-212ip采用雙盒式晶片升降機和可調晶片卡盤設計，方便晶片裝卸，顯著提高了效率和生產率。機器的內置傳感器使它能夠自動檢測設備/晶片基板事件，確保安全和操作人員在蝕刻過程中的舒適度。RIE-212ip直觀的操作系統和圖形用戶界面突出了機器的性能，使其用戶友好，並允許高效生產。系統的診斷功能還增強了其可用性,使計算機成為任何敏感蝕刻應用程序的高性能選擇。