二手 SAMCO RIE-212iPC #293587430 待售

SAMCO RIE-212iPC是一種最先進的蝕刻和灰化器,可用於半導體半導體中的各種蝕刻和灰化過程。該設備是一個先進的、小型化的、高度可靠的蝕刻和灰化系統，旨在為半導體制造提供高精度和控制蝕刻和灰化工藝。SAMCO RIE 212 IPC具有多種特性和優點，如氧化蝕刻能力、密封超潔凈室和超高分辨率表面視圖窗口。該裝置的氧化蝕刻能力使各種材料和工藝節點的蝕刻和表面制備具有更高的精確度和吞吐量。密封式超清潔室可確保工藝環境保持無汙染狀態,而超高分辨率表面視圖窗口允許操作員密切監視工藝進度。RIE-212iPC還配備了基於亥姆霍茲的氣體輸送機，使氣體能夠準確、精確地輸送和控制，從而獲得最佳的蝕刻和灰化性能。氣體輸送工具由多相氣體調節閥、被動式氣體預熱器和被動式氣體凈化器組成，已被並入腔室，以優化過程的溫度和壓力。RIE 212 IPC還具有多級可變電源,可為蝕刻和灰化過程提供廣泛的功率級別。可變電源由一個脈沖功率阻抗匹配（PPIM）資產組成，該資產優化了蝕刻和灰化過程的功率與深度之比。此外,可變電源采用離子過濾模型設計,可實現更高的功率密度,同時減少不希望的蝕刻產品的形成。SAMCO RIE-212iPC還包括一個先進的過程控制設備，它提供對過程參數的實時監測和控制。有了這個先進的過程控制系統，用戶可以訪問各種蝕刻和ashing過程配方，設置多個過程參數，監控過程的進展，排除過程相關問題。總之，SAMCO RIE 212 IPC是一種最先進的蝕刻器和灰化器，旨在促進半導體材料的高精度和高通量的蝕刻和灰化。這一單元具有多種特點和優點，如先進的工藝控制、密封的超潔凈室、基於亥姆霍茲的氣體輸送機和多級可變電源，使RIE-212iPC成為一個高效可靠的蝕刻和asher工具，非常適合半導體制造。