二手 SAMCO RIE-212iPC #293587433 待售

SAMCO RIE-212iPC 蝕刻器/asher是為納米級加工和材料表面加工應用而設計的等離子體蝕刻和灰化設備。該系統結合了遠程電感耦合等離子體（RIEC）和射頻（RF）源技術，具有極高的控制水平和準確性。這允許使用傳統蝕刻/灰化系統的一小部分功耗來實現納米級精度。該單元配有一個集成的真空室，可以在蝕刻/灰化過程之前快速高效地撤離機器。它具有少於三分鐘的處理時間,具體取決於作業的大小和復雜性。此工具的最高溫度為154 °C,低溫為-50 °C,非常適合各種蝕刻/灰化工藝。資產具有160mm x 160mm的大蝕刻面積，是快速高效蝕刻大零件的理想選擇。它允許通過用戶友好的圖形用戶界面（GUI）保存和召回多個蝕刻配方,以便快速輕松地蝕刻大型零件。此外，該模型還采用了低氣壓蝕刻模式，以提高蝕刻精度和表面光潔度質量。SAMCO RIE 212 IPC還包括一個精密的射頻源電源和發電機，允許穩定和受控的蝕刻過程。通過使用這種發電機，該設備可以在低功率和具有極好的重復性蝕刻。它還允許使用高達700W峰值功率的高功率等離子體蝕刻。最後,該系統為操作員提供了驚人的安全功能,它完全封閉,只能從外部的維護面板訪問。此外，該裝置有一個內置的壓力監測儀，用於檢測壓力的任何即時變化，給操作員一個何時停止該過程並采取行動的警告。總之，RIE-212iPC是一臺功能強大、可靠、安全的蝕刻/灰化機，非常適合各種基材和材料表面加工應用。其控制水平高，精度高，功耗低，RF電源通用，非常適合納米刻蝕/灰化。