二手 SAMCO RIE-212iPC #293761450 待售

SAMCO RIE-212iPC是一種最適合於高精度大氣壓力反應離子蝕刻和灰化的蝕刻器和灰化器，通常用於半導體制造。該設備是完全自動化的，包含各種工藝參數，以提供卓越的蝕刻質量和成本效益。蝕刻器具有200 cm3容量的大型高真空室，可進行大批量處理，縮短加工時間。雙級粗加工泵和精制渦輪分子泵可確保高真空性能。一個簡單、直觀的用戶界面可用於控制自動化設備，包括壓力控制、過程氣體控制和高壓應用。它還包含一個旋轉的電極支架，確保在所有表面上均勻蝕刻結果。該設備還具有高功率源控制功能，允許高速蝕刻和高精度等高級過程。根據產品要求，蝕刻器可以使用各種氣體，如O2、CF4、Ar和SF6。此外,它還具有高達2,000V的電源控制電壓,精度為+/-0.5%。裝置的內置安全特性確保其安全以及周圍環境的安全。這包括一個電弧檢測系統、一個監測單元、一個緊急停止機器和一個氣體檢測工具。此外，該裝置配有溫度監測資產，可用於監測工藝室及其部件的溫度，有助於減少任何與工藝相關的損害。綜上所述，SAMCO RIE 212 IPC蝕刻器和asher設計用於高精度大氣壓反應性離子蝕刻，提供卓越的性能，具有自動過程控制和一系列安全特性。設備的大容量允許提高性能和減少處理時間。