二手 SAMCO RIE-212iPC #9189842 待售

SAMCO RIE-212iPC是一種用於復雜加工薄膜材料的蝕刻器/asher。能夠對不同的聚合物、電介質、陶瓷、金屬等材料進行蝕刻和灰化。這個強大的單元旨在提供蝕刻和灰分加工的均勻性，適用於各種半導體行業。SAMCO RIE 212 IPC包括集成的等離子體源以及帶有ASIC控制的高功率氣體輸送系統的氣體旁路。等離子體源有一個電機驅動的腔室和一個冷截面，以降低氣體溫度隨著時間的推移。該單元配有圖形用戶界面，便於操作。它還有一個後置的氫和氧系統，其中包括一個排氣過濾器。蝕刻器/灰化器能夠在最高腔室溫度最高為1000℃的固定或可調溫度範圍內進行蝕刻和灰化。該機還可以加工多種材料，包括氧化矽、氮化矽、無定形矽、鋁、氮化鈦、ITO等等。RIE-212iPC設計有一個集成的密封鈦屏蔽室，提供了卓越的工程精度和可重復性。該單元還通過高精度Z軸和晶圓傾斜控制確保均勻蝕刻和灰化。它有一個內置的診斷系統，實時監控過程參數，以提高準確性、穩定性和可重復性。The Unit還附有多種可以在機器中使用的材料，包括氧化矽、氮化全新、金、氮化鋁、銅以及各種非矽材料。它也可用於低壓過程，這對於需要高功率和低壓的一系列推進過程很有用。總體而言,RIE 212 IPC是一種可靠、準確的蝕刻器/灰化器,可用於處理多種材料。它具有提供精確和可重復性的高級功能,以及確保安全操作環境的集成安全功能。該單元配有多種材料，可用於高功率和低壓過程，使其成為半導體和電子應用的絕佳選擇。