二手 SAMCO RIE-300NR #293597183 待售
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SAMCO RIE-300NR是一種用於電子器件制造的反應性離子蝕刻器和灰化器.它是一種工業級機器，利用高效的反應性離子蝕刻（RIE）和灰化工藝。這一過程能夠通過高能中性粒子的輝光放電、離子轟擊和等離子體的組合，控制從基板表面去除材料。SAMCO RIE 300 NR的特點包括真空度為5 torr的0-10,000 sccm氣體供應，以及0-1200V的可調電壓範圍和0-400W電源。它的腔室尺寸為300 x 300 mm,具有自動/手動功能、石英窗口、E-shot射頻發生器和冷卻板等功能,非常適合在廣泛的過程中進行樣品冷卻。該系統旨在產生精確的蝕刻速率,從而能夠精確控制蝕刻深度和圖像圖樣。其自動化的蝕刻停止系統可以與20多種氣體結合使用，包括氟化氣體、氧氣、氮氣和氙氣，使其適合廣泛的應用。此外，其精確的燈絲控制允許對各種材料進行精確的蝕刻，從塑料、金屬和合金到陶瓷和絕緣體。除了效率高，本機還有低維護設計。它方便的前面板操作和遠程控制器提供了直觀易用的操作。它還有一個綜合的安全機制，確保安全，從過大的氣體壓力和電幹擾。總體而言，RIE-300NR是制造電子設備的可靠和高性能蝕刻器。其精確的蝕刻速率和廣泛的氣體使其能夠滿足各種制造工藝的需要。此外,其強大的設計和低維護性能使其能夠在不同的條件和環境中工作。
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