二手 SAMCO RIE-300NR #293804464 待售
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SAMCO RIE-300NR是一種蝕刻器/灰化器，特別是一種反應性離子蝕刻器（RIE），用於高精度的微細加工。此工業級工具提供卓越的性能,使用戶能夠一致地制造高表面精度的零件。SAMCO RIE 300 NR是一種低成本、可靠的設備，設計用於許多不同的行業，包括微電子學、生物技術實驗室等等。該裝置具有真空室，由85立方米/小時渦輪分子泵提供動力，能夠達到2x10^-3 Pa或更低的基本壓力。這使用戶能夠以極高的精度執行蝕刻和灰化過程。控件非常直觀,帶有5.7英寸彩色液晶觸摸面板,可輸入命令和顯示信息。高性能的基於計算機的操作系統進一步簡化了控制。與大多數RIE系統不同,RIE-300NR具有在線CCD攝像頭系統,用於在線監控流程。相機連接到5倍、10倍和20倍放大倍率的顯微鏡，使用戶能夠觀察正在進行的過程。通過監控過程,用戶可以輕松調整參數以獲得最佳性能。RIE 300 NR配備了獲得專利的XCEL®等離子體源，使用戶能夠產生具有異常等離子體均勻性和低離子能量擴散的高反應性等離子體。此外，該裝置還包括一個獨特的晶圓對準系統，以提高處理精度和可重復性。其工藝氣體通過質量流量控制器和計量閥的組合輸送，精度為+/-0.5%，最大限度地減少了氣體流量對加工結果的影響。氣體系統還具有壓力剖面控制功能，允許用戶剖面室內的氣體壓力。此功能可確保針對任何類型的蝕刻材料優化反應。SAMCO RIE-300NR最終以極高的精度和可重復性為不同材料的微觀加工提供了卓越的性能。其高端功能為用戶提供了無與倫比的蝕刻過程控制，確保了每一次的一致結果。
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