二手 SAMCO RIE-300NR #9234636 待售

SAMCO RIE-300NR是一種用於集成電路生產、微電子及相關應用的蝕刻和灰化設備。該系統對各種基材進行可靠、精確的化學蝕刻和粉刷。SAMCO RIE 300 NR在其盒式蝕刻和灰化室中可以容納4「至12」（100毫米至300毫米）範圍的晶圓。這得益於RIE-300NR的浮動級和自動閥門控制的組合。腔室環境由內置流量計單元控制，專門設計用於精確調節氣流。RIE 300 NR可以處理廣泛的蝕刻和灰化條件。已經用CF4、SF6、NF3、CDA、Oxygen等氣體對鋁、鎢、多晶矽、石英等半導體材料進行蝕刻和灰化試驗。該機器設計用於在高達660°C的高溫和低於-100°C的零下溫度下運行。工具內置的液氮冷卻能力促進了這一點。SAMCO RIE-300NR配備了先進的軟件控制資產,旨在確保對蝕刻/灰度的最佳控制。這允許將自動配方控制集成到模型中,從而實現更高效、更精確的蝕刻和灰化過程。這種先進的軟件控制設備還允許可編程百葉窗達到清潔標準。此外，SAMCO RIE 300 NR擁有一個內置真空泵和通風口系統，旨在確保清潔的工藝室氣氛。據報告，該裝置能夠達到10-6 Torr以下的真空水平。這樣可以確保連續操作而不會受到汙染。該機器采用工業級部件制造，設計用於處理實驗室環境中嚴格的蝕刻和灰化工藝條件。RIE-300NR還具有廣泛的監控安全功能,旨在確保用戶和環境的安全。RIE 300 NR蝕刻和灰化工具是集成電路生產的可靠、精確的蝕刻和灰化解決方案。它擅長處理各種蝕刻和灰化條件,並提供10-6 Torr的自動化軟件控制和真空級別。SAMCO RIE-300NR具有工業級部件和安全特性,為實驗室應用提供了可靠、安全的蝕刻和灰化解決方案。