二手 SAMCO RIE-300NR #9249082 待售

SAMCO RIE-300NR是一種高性能、反應性離子蝕刻器（RIE）。這種先進的蝕刻和ashing工具位於密封的密封外殼中，設計成精密圖樣的材料如矽、砷、鋁，精度高達0.1微米。它還具有氫氟酸蒸氣清洗設備、自動壓力控制系統和幹式繞行模式以減少停機時間。SAMCO RIE 300 NR通過將蝕刻和灰度結合在一個單元中提供兩全其美。它具有一個大的腔室尺寸，能夠處理直徑不超過10英寸的基板。RIE-300NR也有各種腔室和晶圓保持配置，以適應不同的項目要求。其高純度的聚氟乙烯氣體輸送機有助於在廣泛的過程中保持高吞吐量和一致的蝕刻速率。RIE 300 NR因其先進的等離子體控制系統和橢圓偏振儀功能，是生產小型復雜特性的理想選擇。SAMCO RIE-300NR可以借助其原位端點檢測、射頻發生器和電容耦合腔室幫助實現廣泛的工藝參數。此外，SAMCO RIE 300 NR的內置排氣口讓用戶可以自由地在腔室內進行不平衡的處理，而不會排出任何等離子體或科裏奧利力。RIE-300NR是光掩碼修復和晶圓背面蝕刻清洗應用的理想選擇。這款先進的蝕刻器和asher，非常適合加工各類材料，包括矽、砷化氙和鋁。它還能夠蝕刻斜角和底切輪廓輪廓,精度高達0.1微米。RIE 300 NR通過其自動壓力控制工具和幹式繞行模式提供了最高水平的性能,從而減少了停機時間。