二手 SAMCO RIE-300NR #9402475 待售
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SAMCO RIE-300NR是一種可靠的反應性離子蝕刻器（RIE），設計用於蝕刻包括石英、矽、陶瓷、金屬和聚合物在內的多種底物。它提供了出色的過程穩定性、可重復性和均勻性。SAMCO RIE 300 NR能夠在多種材料中蝕刻到0.2um的特性。這使得它適用於精密蝕刻應用，如微電子、光電子、MEMS。RIE-300NR配備了小占地面積、低成本的控制臺,並由大型平臺支持。它包括多達五個具有不同類型電池的工藝腔室，如高通量槍管、波導腔室和線性電池。它還具有許多高級功能,包括高溫操作、壓力/流量控制、自動化過程排序以及各種冷卻/清除選項。RIE 300 NR還提供了多項高級功能，如高端流程監控、專有的用戶友好型觸摸屏控制面板和軟件、可編程配方和配方共享、Web瀏覽器界面以及高級流程音序器。這允許用戶根據自己的需要配置計算機,並確保可靠、可重復和一致的蝕刻場景。SAMCO RIE-300NR具有廣泛的過程氣體,提供了靈活性和優化的過程控制.Cl2、O2、Ar、BCl3、N2和SF6等氣體可用於多種流量和壓力設置，以優化蝕刻結果。氣體輸送系統能夠在最小停機時間內確保最佳精度和控制。SAMCO RIE 300 NR也有可選的真空泵，可以用來降低蝕刻薄膜時的擊穿電壓。這使得它適用於薄膜應用，並確保可靠和可重復蝕刻結果。RIE-300NR是用於各種材料，包括半導體，陶瓷，玻璃和聚合物蝕刻應用的完美工具。它提供卓越的過程控制、可靠的操作和卓越的可重復性，是精密研究和工程應用的理想選擇。
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