二手 SAMCO RIE-330iPC #9222887 待售

SAMCO RIE-330iPC是一種先進的蝕刻器/asher,具有卓越的蝕刻和ashing性能。它是醫學、電子和材料加工實驗室的理想選擇。這330W先進的等離子體蝕刻和灰化設備提供高速和均勻去除任何基材類型的工藝材料。該系統還允許在關鍵化學品加工之前進行預處理清潔和清除殘留物。該單元配有精密氣體輸送機、高速機動化級和專有的RIE工藝控制工具。精密氣體輸送資產為氣體的精確輸送提供了氣體噴射口，以及用於遙控氣體流量的控制電纜。高速機動化階段允許連續蝕刻和灰化操作，周期時間短，對過程窗口的精確控制。RIE過程控制模型允許對所有蝕刻和灰化操作進行精確的過程監視和控制。RIE-330iPC還配備了自動晶片傳輸設備，使同一晶片無需人工幹預即可用於多次蝕刻和灰化操作。該系統還具有一個離子調節單元，以盡量減少處理過程中的粒子遷移。這臺機器能夠處理直徑不超過12英寸的晶片，並且設計成適合任何標準晶圓廠環境。SAMCO RIE-330iPC的設計是為了提供更好的蝕刻和灰化速率與最小汙染.該工具還提供了最小的基板損壞和殘留物在基板上的最小沈積。它還允許快速、方便的工具維護,並在處理過程中快速、方便地交換工具。此外,此資產還提供連續處理功能,用戶可以根據需要通過調整壓力、溫度、方向和蝕刻速度等參數來優化蝕刻過程。總體而言,RIE-330iPC是一種高度先進的蝕刻和灰化模型,具有卓越的性能、可用的工藝控制和最小的汙染。它是醫療、電子和材料加工實驗室的理想選擇，允許用戶以最小的底物損傷和殘留物沈積，快速、輕松地蝕刻和灰分底物。