二手 SAMCO RIE-330iPC #9412283 待售

SAMCO RIE-330iPC是業界最先進的蝕刻/灰化系統之一,以其高性能和可靠性而聞名。這款蝕刻器/asher可以實現高達2.5µm/min的蝕刻速率，比其他蝕刻系統快大約20倍，同時在100 x 100 mm ²的區域內保持2.5µm的卓越蝕刻精度。RIE-330iPC具有精密的4軸笛卡爾機器人臂和三級智能壓力控制設備。它采用切削邊緣、深反應性離子蝕刻（DRIE）工藝，非常適合切割和蝕刻有機、陶瓷和無機材料，如Si、SiO2、CNx、Al和聚合物。該系統還提供了廣泛的可選功能，如先進的自動聚焦、集成的晶圓處理單元、多氣體多壓力選擇和算法，以及用於檢測精細薄膜圖案的強大數字光學顯微鏡。SAMCO RIE-330iPC擁有與潔凈室兼容的外殼,並配有各種高級吸塵泵和其他組件,使其成為高度通用的蝕刻機。此外，它還擁有實時流程監控工具，使用戶能夠在蝕刻過程中調整流程以獲得最佳效果。該資產還可與計算機控制的軟件套件一起使用,從而便於設置和管理蝕刻過程。RIE-330iPC還可以運行8000個晶圓/小時,整個晶圓旋轉周期只有4分鐘。這使得它成為高批量、高速生產線的完美蝕刻模型。該設備還內置了觸摸面板用戶界面，並附有（ISO 7952）蝕刻食譜的綜合庫，使其成為極其人性化的系統。總之，SAMCO RIE-330iPC是一個理想的蝕刻和灰化解決方案，為許多行業，提供了一個強大和可靠的蝕刻單元在一個小巧的，用戶友好的包裝。它具有超快的蝕刻速率、高精度和全晶圓旋轉，非常適合大容量的加工應用。