二手 SAMCO RIE-331iPC #293607298 待售
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SAMCO RIE-331iPC是一種幹蝕刻/灰化設備，專門設計用於氧化物薄膜、矽、金屬、玻璃等材料的精密蝕刻和灰化。該機器經過精心設計，可提供精確、可重復的結果，同時提供安全、清潔、低氣體消耗的工藝。該系統利用一臺射頻發電機和兩個獨立的等離子體源，每個源能夠提供高達200瓦的功率，創造了一個高效和經濟的過程。該單元的設計考慮了用戶的安全，具有安全閥門、安全氣體關閉、自動疏散等功能的綜合安全機器。該工藝室還設計用於確保低壓工藝，提供安全的工作環境。另一個特點是原位流程監控，它允許用戶實時監控流程參數，調整流程設置以達到所需的效果。該工具還具有很高的靈活性，具有廣泛的氣體配置和廣泛的工藝壓力水平，使用戶能夠使工藝適應被蝕刻或粉刷的材料。該機具有集成的自動氣體混合資產，允許單相和多相蝕刻。該模型還允許高度的過程控制，使用戶能夠精確編程蝕刻過程。設備還包括真空晶片傳輸系統，允許用戶在進程運行過程中安全、快速地更換晶片。此外,該單元還提供了一些其他功能,使其更加通用和高效,例如自動蝕刻率補償、自動信息請求、自動氣體配方編程以及自動監控和控制過程。RIE-331iPC還提供了一個先進的用戶界面，使用戶能夠以一種簡單直觀的方式監控和控制過程，用戶的輸入最少。綜上所述,SAMCO RIE-331iPC是一臺先進但經濟實惠的蝕刻/灰化機,可提供精確且可重復的結果,同時確保用戶安全和過程清潔。它具有多種工藝參數和特點，使該工具具有很高的靈活性和效率，而其先進的用戶界面使得控制和監控過程變得簡單易用。
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