二手 SAMCO RIE-331iPC #9412284 待售
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SAMCO RIE-331iPC是一種全自動反應性離子蝕刻(RIE)裝置,設計用於各種工業應用的各種基板的精確物理蝕刻。電化學蝕刻過程有助於在晶圓表面上形成高度精確和細膩的圖樣。RIE-331iPC具有最先進的離子源、高精度晶圓位置傳感器和可精確調節基板工藝的自動壓力反饋設備。由於其高效的氣體分配系統,蝕刻器能夠以最小的氣體消耗提供控制和一致的蝕刻結果。該蝕刻器適用於蝕刻多種材料基板,包括矽、氧化矽、氮化矽、銅、銅合金、鋁、陶瓷和聚合物。它支持蝕刻參數,包括蝕刻時間、壓力和氣流,以便這些可以針對各種應用或定制過程進行調整。SAMCO RIE-331iPC還配備了自動基板位置檢測裝置,保證了準確的蝕刻和突出的產量。該裝置提供先進的安全措施,如雙室面板設計和離子源監測,確保蝕刻過程和維護過程中的安全和可靠性。而且,蝕刻器附帶了一個集成的軟件包,允許用戶輕松地監控和控制機器。總之,RIE-331iPC是一種頂級蝕刻器,非常適合需要高度精確、精細模式的應用程序。SAMCO RIE-331iPC具有易於使用的集成軟件、高效的氣體分配機、自動壓力反饋工具和先進的安全功能,是廣泛工業應用的理想工具。
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